прибор для метрологических измерений длин мер в длинах волн света или для сравнения длин мер на основе интерференции света (См.
Интерференция света)
. Длины концевых мер до 100
мм измеряются на
Интерферометре Кёстерса. Концевые меры большей длины, а также штриховые меры измеряются на универсальном К. и. Свет от источника 1 в виде параллельного пучка лучей зеркалом
2 направляется на полупрозрачную стеклянную разделяющую пластину
3. Часть света, отражённая пластиной, падает на концевой эталон
4, установленный на подвижной каретке. Передняя поверхность эталона
А - свободная, а к задней
В притирается плоская стеклянная пластина С. После отражения от плоскостей
А и
В свет проходит пластину
3 и зеркалом
5 направляется в зрительную трубу
Т. Часть света от зеркала
2, прошедшая пластину
3, зеркалом
6 направляется на зеркало 7, жестко связанное с фотоэлектрическим микроскопом
8. Последний может перемещаться вдоль стола
9 с уложенной на нём штриховой мерой
10. Отражённый зеркалом 7 свет возвращается к зеркалу
6 и направляется на пластину. Свет, отражённый последней, зеркалом
5 также направляется в зрительную трубу
Т. Положение стола фиксируется интерференционным индикатором 11, представляющим интерферометр Майкельсона, одно из зеркал которого жестко связано со столом.
При сравнении эталонной, концевой и измеряемой штриховой мер положением нулевого штриха штриховой меры фиксируется под микроскопом, а перемещением каретки с концевой мерой добиваются равенства длин путей обоих пучков лучей, образовавшихся при отражении света от поверхности А меры и зеркала 7. Затем перемещением зеркала 7 и микроскопа 8 добиваются равенства длин путей обоих пучков лучей, образовавшихся при отражении света от зеркала 7 и поверхности В меры. Необходимое для этого перемещение зеркала 7 и микроскопа 8, очевидно равно длине концевой меры. Новое положение зеркала относительно штриховой меры фиксируется микроскопом и интерференционным индикатором. Для сравнения длин концевых мер в параллельный пучок лучей, идущий от источника света, помещают трубчатый эталон (эталон Фабри - Перо), а зеркало 7 устанавливают так, чтобы его плоскость делила сравнимую меру на части, кратные длине эталона. Точность измерения длин мер на универсальном К. и. Компаратор интерференционный1∙10-7
Лит.: Захарьевский А. Н., Интерферометры, М., 1952; Бржезинский М. Л., Интерференционные компараторы для измерения длины штриховых мер, в кн.: Труды институтов Госкомитета, в. 78 (138), М. - Л., 1965; Волкова Е. А. [и др.]. Универсальный интерферометр системы ВНИИМ для измерения концевых мер и геодезических кварцевых жезлов длиной до 1200 мм, в кн.: Труды Всесоюзного научно-исследовательского института метрологии, в. 26 (86), М. - Л., 1955.
А. В. Кондрашков.
Схема интерференционного компаратора.